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桑畑研究室の4年次生が金属薄膜の真空蒸着とXPS測定を行いました。

◆2017.6.19 桑畑研究室の4年次生が金属薄膜の真空蒸着とXPS測定を行いました。
 6月19日、桑畑研究室の4年次生小山君・春日君・庄司(佳)君の三名が、卒業研究「大気圧プラズマジェットを用いた金属の表面改質・表面加工」の実験として、①ガラス基板へのアルミニウム(Al)薄膜の真空蒸着、②Al薄膜への大気圧プラズマジェット照射、③プラズマが照射されたAl薄膜のXPS(X線光電子分光)測定を行いました。この研究は、大気圧プラズマジェットを電子デバイスの製造プロセスに応用できないかという目的で行われています。8月上旬に開催される卒業研究中間発表会に向けて、今後も実験を重ねていきます。

 ① 真空蒸着実験の様子。
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 1. 真空蒸着装置

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2. Alとガラス基板のセッティング

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 3. 真空蒸着中

 ② プラズマジェット照射実験の様子。
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 4. プラズマジェット照射中

 ③ XPS測定の様子。
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 5. XPS装置

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 6. Al薄膜のセッティング

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 7. XPS測定中置