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桑畑研究室の研究紹介が、SEAJジャーナルに掲載されました。

◆桑畑研究室の研究紹介が、2017年1月31日に発行されたSEAJ Journal 2017 JANUARY Vol. 156のp. 42に掲載されました。SEAJジャーナルは、一般社団法人 日本半導体製造装置協会(SEAJ)の会報誌です。SEAJは、半導体及びフラットパネルディスプレイ及び太陽光発電製造装置関連企業の全国的な団体です。SEAJには、ルネサスエレクトロニクス、アルバック、芝浦メカトロニクス、日立ハイテクノロジーズ、東京エレクトロン、島津製作所、ニコン、キャノンなどが入っています。桑畑研究室での大気圧プラズマジェットを用いた半導体や金属の表面改質・表面加工の研究成果が紹介されています。
一般社団法人 日本半導体製造装置協会(SEAJ)HP:http://www.seaj.or.jp/


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1 表紙

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